1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-194022151111/01
招标项目名称:刻蚀机、化学气相沉积机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 薄片晶圆背面刻蚀机 | 1 | 使用化学品将硅片背面旋转刻蚀，达到厚度分布及均匀性指标 | |
| 2 | 晶圆背面刻蚀机 | 1 | 使用化学品将硅片背面旋转刻蚀，达到厚度分布及均匀性指标 | |
| 3 | 晶圆背面刻蚀机 | 1 | 使用化学品将硅片背面旋转刻蚀，达到厚度分布及均匀性指标 | |
| 4 | 等离子体深硅孔刻蚀机 | 1 | 实现硅孔直径0.35um 深度40 um刻蚀 实现硅孔角度在89+-0.5度。 实现侧壁光滑，无损伤。 | |
| 5 | 等离子体多晶硅刻蚀机 | 1 | 实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 Chamber 与chamber 差异小于5%。 | |
| 6 | 等离子体多晶硅刻蚀机 | 1 | 实现多晶硅刻蚀要求etch rate >1500A/min 主刻蚀比氧化层选择比大于150:1 Chamber 与chamber 差异小于5%。 | |
| 7 | 化学气相沉积机 | 1 | 实现片内高均匀性的薄膜沉积(W CVD) |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-04-02
招标文件领购结束时间:2019-04-10
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
招标文件售价:￥500/$80
其他说明:投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机 电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-04-24 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
6、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:韩倩倩
联系方式:+86-21-38125300-10291
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号
联系人:王鼎 金玄懿
联系方式:32557721 32557905
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):