1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-194022151180/03
招标项目名称:扫描式曝光机、I-line 光刻机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 高束流离子注入机 | 1台 | 实现阳离子注入晶圆内部，达到总剂量，厚度分布及均匀性指标 | |
| 2 | 低压多晶硅生长机、低压退火设备 | 2台 | 1 低压多晶硅生长机/VF LPCVD Poly-Doped 1台/1set 实现厚膜多晶硅生长，均匀性好 2 低压退火设备/LP Alloy 1台/1set 实现低压H2环境下进行退火，修复表面晶格损伤，均匀性好 | |
| 3 | 扫描式曝光机、I-line 光刻机 | 2台 | 1 扫描式曝光机/DUV Scanner 1台/1set 90nm 分辨率 2 I-line 光刻机/i-line stepper 1台/1set 0.35um line width | |
| 4 | 组成成分分析机 | 1台 | FTIR工具采集干涉图，对数据进行数字化，执行FT功能，并显示光谱。/An FTIR tool collects the interferogram, digitizes the data, performs the FT function, and displays the spectrum. | |
| 5 | 同时分析WDXRF光谱仪 | 1台 | 测量晶圆和媒体磁盘的薄膜厚度和组成/ Film thickness and composition measurements on wafers and media disks | |
| 7 | 外缘薄膜错位侦测仪 | 1台 | 实现外缘薄膜错位侦测/ Realization of Outer Thin Film Dislocation Detection | |
| 8 | 晶圆打标机 | 1台 | 实现外缘薄膜错位侦测/ Realization of Outer Thin Film Dislocation Detection | |
| 9 | 晶圆清洗机 | 5台 | 1 晶圆清洗机/BOE oxide etch 1台/1 set 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对氧化层进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 2 晶圆清洗机/ W.S. B clean 1台/1 set 1.实现55纳米级别清洗2.去除颗粒能力强 3 晶圆清洗机/ DHF Clean 1台/1 set 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对氧化层进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 4 晶圆清洗机/ Oxide Wet Etch 1台/1 set 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对氧化层进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 5 晶圆清洗机/W.S. Solvent PR strip 1台/1 set 1.实现55纳米级别清洗2．使用化学品对氧化层进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格或业绩：1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-04-09
招标文件领购结束时间:2019-04-16
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼上海机电设备招标有限公司
招标文件售价:￥500/$80
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-04-30 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场22楼
6、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
地址:中国浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:韩倩倩
联系方式:：+86-21-38125300-10291
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号
联系人:王鼎 王晟
联系方式:32557721 32557916
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):