1、招标条件
项目概况:上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1840SHJT0001/114
招标项目名称:上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 0714-1840SHJT0001/112 | 6吋晶圆厂合金工艺生产机台；6吋晶圆厂薄膜高温 density生产机台；6吋晶圆厂Furnace Poly 工艺生产机台；6吋晶圆厂Polymide Baking工艺生产机台；6吋晶圆厂BPSG Reflow工艺生产机台；6吋晶圆厂Furnace TEOS Deposition 工艺生产机台 | 1台；1台；1台；1台；1台；1台 | 设备要求结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
| 0714-1840SHJT0001/114 | 6寸碳化硅晶圆多晶硅/氮化膜刻蚀（POLY/NITRIDE ETCH）工艺生产机台；6寸碳化硅氧化膜刻蚀（Oxide ETCH）制造工艺生产机台；6寸碳化硅氧化膜刻蚀（Oxide ETCH）制造工艺生产机台；6吋碳化硅金属刻蚀（Metal Etch）制造工艺生产机台 | 1台；1台；1台；1台 | 设备要求结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | CNY3000/USD480 |
| 0714-1840SHJT0001/115 | 150mm碳化硅片湿法铝和镍去除工艺生产机台；150mm碳化硅片碳清洗工艺生产机台；150mm碳化硅片氧化物去除工艺生产机台；150mm碳化硅片湿法聚合物去除工艺生产机台；50mm碳化硅片后道去胶和钛去除工艺生产机台；150mm碳化硅片湿法前道去胶艺生产机台；150mm碳化硅片预清洗工艺生产机台；150mm碳化硅片预清洗工艺生产机台；150mm碳化硅片湿法控片回收清洗工艺生产机台 | 1台；1台；1台；1台；1台；1台；1台；1台；1台 | 设备要求结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | CNY20000/USD3250 |
| 0714-1840SHJT0001/119 | 6寸碳化硅晶圆PECVD工艺生产机台 | 2台 | 设备要求结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。 | CNY3000/USD480 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件，并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-09-30
招标文件领购结束时间:2019-10-12
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中国电子进出口有限公司, 北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦21层标书发售处
招标文件售价:￥20000/$3250
其他说明:招标文件售价详见产品列表备注栏；领购具体时间：上午9：00～11：30，下午13：00～16：30（北京时间）（节假日除外）
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-10-22 10:00
投标文件送达地点:中国电子进出口有限公司北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦19层
开标地点:中国电子进出口有限公司北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦19层
6、投标人在投标前应在必联网（http://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（http://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海积塔半导体有限公司
地址:上海市浦东新区云水路600号
联系人:邓魏、秦再军
联系方式:021-64851900
招标代理机构:中国电子进出口有限公司
地址:北京市海淀区复兴路17号新中电大厦
联系人:刘蕾、高攀、赵天舒
联系方式:010-52579308，010-52579309
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):